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FABSim 3D Process Physical Simulation Module
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FABSim 3D Process Physical Simulation Module

An accurate 3D process physical simulation tool
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产品描述
技术参数

江苏英特神斯科技有限公司

 

Silicon and Quartz etching in FabSim

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

Virtual Fabrication with FabSim

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

Visualize complex MEMS (for process debug)

Export to PNG, AVI, PPT files etc..

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

Wet Etching process in FabSim

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

DRIE process in FabSim

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

Process simulation: DRIE processes with calibration

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

mask

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

Experiment results

Users can do DRIE etching experiment as we designed.

And use experiment results to calibrate Fabsim for their own device.

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

DRIE simulation by simple model

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

DRIE simulation without calibration

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

DRIE simulation with calibration

 

江苏英特神斯科技有限公司

 

high index etch

 

江苏英特神斯科技有限公司

We could not find any corresponding parameters, please add them to the properties table

An accurate 3D process physical simulation tool

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